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LODAS™ – CI8是列真株式會社推出的一款化合物半導體SiC、GaN晶圓檢查裝置。

UltraINSP晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)是表面缺陷檢測的蕞完善的國產(chǎn)化替代產(chǎn)品，系統(tǒng)包括四個模塊可以檢測所有晶圓表面并同步采集數(shù)據(jù)：晶圓正面、背面、邊緣缺陷檢測模塊；輪廓、量測和檢查模塊；

iFocus是一款用于晶圓外觀缺陷檢測設備，利用STI的2D/3D視覺檢測系統(tǒng)，采用雙2D Camera同時采集亮區(qū)和暗區(qū)照片分析特征缺陷；True 3D技術，可以精確量測Bumping高度，Bumping共面性等特征。可適用于EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG等產(chǎn)品外觀檢測。

LODAS™ – LI系列是列真株式會社推出的一款FPD Photomask缺陷檢查裝置。

LODAS™ – BI12是列真株式會社推出的一款GlassWafe缺陷檢查裝置。

LODAS™ – BI8是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。