Thetametrisis膜厚儀是一款快 速、準確測量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案，要求的光斑尺寸小到幾個微米，如微圖案表面，粗糙表面及許多其他表面。它可以配備一臺計算機控 制的XY工作臺，使其快 速、方便和準確地描繪樣品的厚度和光學特性圖。
Thetametrisis膜厚儀利用 FR-Mic，通過紫外/ 可見/ 近紅外可輕易對局部區(qū)域薄膜厚度，厚度映射，光學常數(shù)，反射率，折射率及消光系數(shù)進行測量。
Thetametrisis膜厚儀使用優(yōu)勢：
1、實時光譜測量。
2、薄膜厚度，光學特性，非均勻性測量，厚度映射。
3、使用集成的，USB連接高品質(zhì)彩色攝像機進行成像。
4、單擊即可分析 (無需初始預(yù)測)。
5、動態(tài)測量。
6、包含光學參數(shù) (n & k, color)。
7、可保存測量演示視頻錄像。
8、超過 600 種不同材料o 多個離線分析配套裝置o 免費操作軟件升級。
